隨著半導體元件變得日益複雜，光學測量工具已無法看透其內部結構，這正在成為制約晶片製造的關鍵瓶頸
Invisix植基於獲得諾貝爾物理學獎的研究成果，研發出一種使用軟X射線光源的高處理量量測替代方案，適用於大規模量產
Invisix由ASML前員工創立，將利用本輪資金加快其首款可交付系統的研發、擴充團隊規模並支援客戶示範
荷蘭埃因霍溫–（美國商業資訊）–專注于為先進晶片製造研發下一代測量工具的半導體量測公司Invisix宣布，已完成超額認購的2000萬歐元種子輪募資。本輪投資方包括Hitachi Ventures、Transition Ventures、imec.xpand、Doosan Investment Co.以及一家一線半導體製造商。該筆資金將用於擴充Invisix團隊規模、加快其首款可交付系統的研發，並支援在其位於埃因霍溫的新無塵室中為客戶進行技術示範。
協助晶片製造商製造肉眼無法觸及的結構
製造現代晶片就像建造奈米級的摩天大樓：在堆疊下一層之前，製造商必須確認前一層是否已正確印刷。然而，隨著先進邏輯和記憶體元件變得越來越小且日益複雜，傳統的光學工具已無法再解析出那些至關重要的內部結構。
這些元件構成了高效能運算的骨幹，也是實現AI願景的基石。在缺乏測量手段的情況下，製造商不得不採用速度更慢、成本更高且通常具有破壞性的替代方案。在半導體市場中，即便是微小的良率提升也能釋放數十億美元的收入，而競爭的制勝關鍵就在於比對手更早將新節點投入量產，因此，這一技術缺口的解決至關重要。
Invisix由前ASML員工、物理學博士、執行長Christina Porter和技術長Sietse van der Post共同創立，透過推出軟X射線量測系統解決了這一難題，旨在協助晶片製造商規模化測量最具挑戰性的晶片層。
一種無損、高處理量的解決方案
Invisix的系統利用高次諧波產生(HHG)技術，突破了現有測量工具的極限。HHG製程植根於榮獲2023年諾貝爾物理學獎的科學發現。它利用短脈衝驅動雷射來激發稀有氣體原子，使其處於高能態。在此狀態下，原子會發射出包含多種色彩的短波長光（即軟X射線），從而能比典型的單波長雷射產生更豐富的3D訊號。
Invisix系統將HHG技術與專有的重構演算法及機器學習相結合，能夠重新建構出元件內部細緻的3D結構。至關重要的一點是，該系統完全以非破壞性的方式實現這一過程，且整個系統的架構設計完全能夠擴充至滿足大規模量產所需的處理量。
憑藉ASML十餘年的技術經驗累積
Invisix將曾經徹底改變半導體微影的解析度邏輯應用到了量測領域。隨著晶片特徵尺寸的縮小，測量的波長也必須同步縮小。公司利用軟X射線來透視那些傳統光學工具已無法解析的、埋藏在結構深處的奈米級構造。
該公司已從ASML過去在軟X射線領域的研究成果中獲得了大批核心技術的獨家授權。除了兩位創辦人外，多位曾參與ASML軟X射線計畫的資深專家也加入了團隊，同時還引進了包括營運長、曾任荷蘭大型半導體合約製造商NTS營運長的Roald Dogge在內的業界資深人士。此外，Invisix的研究淵源還延伸至與隆德大學Anne L’Huillier教授的長期合作，她因在HHG物理學領域的奠基性工作而榮獲諾貝爾獎。
Invisix團隊此前已在2023年公開展示其技術，並公布了與Intel和imec的合作成果。他們成功測量了下一代環繞閘極電晶體架構中的關鍵特徵尺寸，而這是現有量測技術中最具挑戰性的目標之一。近期，該公司已將其具備300mm晶圓處理能力的軟X射線測試平台搬遷至埃因霍溫的新無塵室。在這裡，客戶技術示範將與首款可交付客戶晶圓廠部署的產品開發同步推進。
Invisix共同創辦人兼執行長Christina Porter博士表示：「半導體製造商無法製造他們看不到的東西。隨著晶片向3D方向演進，產業需要下一代量測工具，能夠在不破壞這些極其複雜的微型摩天大樓的前提下看清其內部。我們帶著在ASML內部育成十多年的技術進入市場——這種程度的技術風險消除在種子階段的硬體公司中非常罕見，它將為我們的客戶提供一條更快的量產部署路徑。」
Hitachi Ventures合夥人兼投資長Wolfgang Seibold 表示：「隨著半導體架構向3D化發展，量測技術日益成為制約半導體良率和產能爬坡速度的瓶頸，且每更新一代節點，這一挑戰就會加劇。Invisix憑藉以ASML十年研發為支撐的技術平台、與產業頂尖合作夥伴共同驗證的成果以及專為大規模量產設計的系統架構，成功解決了這一難題。我們非常高興能夠支援該團隊將這一能力推向市場。」
Transition Ventures合夥人Clara Ricard表示：「看到世界一流的人才走出ASML並創立自己的公司，令人感到振奮。Invisix是歐洲最具前景的半導體公司之一：他們突破了製造用於驅動AI訓練和推理的先進晶片的核心瓶頸。其技術風險已經消除，市場正在快速演進，我們非常高興能夠支援他們的規模化擴張。」
關於Invisix
Invisix是一家總部位於荷蘭的半導體量測公司，致力於為先進邏輯和儲存晶片製造研發軟X射線測量系統。其技術採用短波長、寬頻軟X射線散射測量法，以高處理量重構下一代半導體元件的詳細3D結構。Invisix總部位於埃因霍溫，其核心技術獲得了ASML的授權。如欲瞭解更多資訊，請造訪www.invisix.nl。
關於Transition Ventures
Transition Ventures是一家總部位於倫敦的創投公司，專注于對致力改變實體世界的企業進行從新創期到A輪的投資。其投資組合遍布歐洲和美國，包括Olix、Upway和Seneca等公司。該基金背後的團隊曾在軟體、硬體和深科技領域創立並規模化擴張數家市值超過200億美元的公司。
關於Hitachi Ventures
Hitachi Ventures是Hitachi, Ltd.的企業創投部門，資產管理規模超過10億美元，團隊分佈在慕尼黑、波士頓、舊金山和邦加羅爾。該公司致力於投資AI基礎架構、企業軟體、工業自動化、能源以及醫療保健等領域的基礎技術。公司致力於與那些在硬體、軟體與物理學交叉領域解決複雜挑戰的創業者攜手合作，並與Hitachi的全球研發及營運業務密切合作，以支援相關技術的驗證、工業化及真實世界的大規模部署。
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