―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)，兼具高分辨率和强大的可操作性―
JSM-F100 (Photo: Business Wire)
东京–(美国商业资讯)–日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)（总裁兼首席运营官：大井泉）宣布，将于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。
背景
扫描电子显微镜(SEM)应用于不同的领域：纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大，SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。
JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和”Neo Engine”（电子光学控制系统），以及全新的GUI “SEM Center”和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能(LIVE-AI)滤镜”，实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外，标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合于”SEM Center”内，可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上，实现了生产量的显著提高。
特性
- 浸没式肖特基Plus场发射电子枪电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流，支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。
- 混合式透镜(HL) 混合式透镜(HL)将静电场镜和磁场透镜相结合，支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。
- Neo Engine（新型电子光学引擎）Neo Engine是一款先进的电子光学控制系统，可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。
- “SEM Center”新功能全新GUI “SEM Center”全面整合SEM成像和EDS分析，提供借助FE-SEM实现的下一代可操作性和高分辨率图像。
- “Zeromag”新功能整合的”Zeromag”可实现从光学成像到SEM成像的无缝过渡，让定位目标样品区域变得十分轻松。
- 全新LIVE-AI滤镜* 通过利用人工智能(AI)功能，整合的LIVE-AI滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同，这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像，无残留图像，对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
*选配
| 规格 | |
| 分辨率(1 kV) | 1.3纳米 |
| 分辨率(20 kV) | 0.9纳米 |
| 加速电压 | 0.01至30 kV |
| 标准检测器 | 高位电子检测器(UED)，二次电子检测器(SED) |
| 电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
| 探头电流 | 几pA至300 nA (30 kV)几pA至100 nA (5 kV) |
| 物镜 | 混合式透镜(HL) |
| 样品台 | 全优中心(eucentric)测角仪样品台 |
| 样品移动 | X轴：70毫米，Y轴：50毫米，Z轴：2至41毫米倾斜： –5至70°，旋转：360° |
| EDS检测器 | 能量分辨率：133 eV或更低可检测元素：B（硼）至U（铀）检测面积：60平方毫米 |
目标年销量
60台/年
日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉，总裁兼首席运营官
（股票代码：6951，东京证券交易所第一部）
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