eVerest射頻訊號產生器為sub-2 nm半導體節點提供下一代脈衝與高速回應
丹佛–(BUSINESS WIRE)–（美國商業資訊）– 高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)今日發佈下一代穩定和可重複的精密射頻功率電源系統，協助客戶在下一代半導體製造中盡量擴大產出和收益。
eVerest™射頻訊號產生器專為埃米時代蝕刻和沉積製程所需的精確電漿控制而打造，能夠支援高度可配置的多階層功率脈衝，從而整合到任何現有電漿功率輸送系統中並改進這些系統。該平臺提供3至10千瓦的輸出功率和1至60兆赫的頻率，並能帶來高達100千赫的高精度寬脈衝頻率。此外，本產品提供高速輸出設定值回應、過渡狀態之間的受控過衝以及能存取複雜物聯網資料生態系統的功能，使製造商能夠開發用於sub-2 nm沉積和蝕刻剖面的先進、可重複製程。
Advanced Energy負責電漿功率產品的資深副總裁Juergen Braun表示：「半導體產業的使命是經由日漸小型化的晶片提供更佳的性能，而我們現正邁向埃米時代，日漸複雜的3D結構和創新製程可以用原子尺度測量尺寸。四十多年來，Advanced Energy一直在半導體製程的電漿功率輸送和控制系統方面居於領先地位。經由不斷創新，我們得以保持這一領導地位，並因應埃米時代裝置製造商對變革性高精度電漿控制的需求，繼而增加了製程視窗，擴大了穩定的操作範圍，從而盡量擴大產出和收益。」
eVerest是完整的射頻功率輸送系統，具有適用於阻抗匹配解決方案的多種選擇，並可與其他Advanced Energy的創新產品（例如eVoS™偏壓解決方案）智慧同步化，從而促成即時或用戶定義的過渡步驟時序控制，以促進蝕刻和沉積動力學的最佳化。eVerest的高速射頻輸出回應低於200µs，脈衝狀態上升/下降時間可低至2µs以下。多階層脈衝的動態控制為能量狀態和分佈開闢了各種新的可能性，而可程式設計過衝確保了可靠的點火，以及在具有較長脈衝關閉狀態的過程中重建電漿的能力。
當與PowerInsight by Advanced Energy™物聯網資料生態系統整合時，以eVerest為基礎的解決方案允許操作人員存取高解析度、高頻寬的嵌入式或系統級資料。這些資料提供了可操作的見解，支援更快、更正確的製程特性和故障排除，並且無需進入電漿腔體安裝示波器，從而減少了停機時間。
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關於Advanced Energy
Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)是為任務關鍵型應用和製程設計和製造高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者。利用Advanced Energy的電源解決方案，客戶能夠在半導體設備、工業生產、醫療和生命科學、資料中心運算、網路和電訊等廣泛產業的複雜應用中進行創新。憑藉工程專業知識和為全球客戶提供快速回應服務和支援，該公司建立緊密的合作夥伴關係以因應科技的快速發展、推動客戶的成長並為電源產品的未來持續創新。Advanced Energy總部位於美國科羅拉多州丹佛市，四十年來一直致力於提供盡善盡美的電源產品。
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Advanced Energy推出适用于埃米时代（Angstrom Era）的具有变革性的等离子功率控制技术 （照片：美國商業資訊）
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