对大型液晶面板制造工厂中用于退火工序的光源——新型KrF受激准分子激光器的评估开始，预计在明年夏天进行批量生产。
栃木县小山市–(美国商业资讯)–半导体光刻光源的主要生产商Gigaphoton公司（总公司：栃木县小山市，董事长兼总经理：都丸仁）宣布，该公司使用半导体光刻用受激准分子激光器，成功开发出用于退火工艺的新型KrF受激准分子激光器，并且已经于11月通过面板生产商的批量生产线开始进行评估。
作为本公司新品牌“GIGANEX”（注释系列的一个环节，此次，Gigaphoton公司充分运用该公司成立以来研发的KrF技术，成功开发出用于退火工艺的新型KrF受激准分子激光器，并且已经于11月通过面板生产商的批量生产线开始进行评估。本次开发的KrF受激准分子激光器为600W的高输出功率，将作为退火用光源使用。对于高画质大型面板有着越来越严苛要求的国内外面板生产商对本产品寄予了极大的期待。Gigaphoton公司预计于2017年夏天将批量生产的本产品推向市场。
Gigaphoton公司董事长兼总经理兼CEO都丸仁先生表示：“本公司已将所开发的新型新KrF受激准分子激光器列入“GIGANEX”系列的产品阵容，希望可以满足更多客户的需求。“GIGANEX”系列产品今后将会继续为FPD行业等各种领域提供有价值的解决方案。”
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（注释“GIGANEX”相关知识
Gigaphoton公司的新品牌“GIGANEX”，是Gigaphoton公司运用迄今为止通过半导体光刻所积累的高超的技术能力开发的新型受激准分子激光器的总称。“GIGANEX”面向FPD生产、挠性设备生产工序、光刻以外的半导体生产等领域，与共同推进技术革新的伙伴一起，进一步探索受激准分子激光器的可能性，不断地为客户提供有价值的解决方案。
《详情请点击》
http://www.gigaphoton.com/cs/products/other/giganex-series
Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年，是一家激光供应商，自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
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