世界首创 在全球开展不使用氦的纯化工艺
栃木县小山市–(美国商业资讯)–光刻光源的主要生产厂商——Gigaphoton公司（总公司：栃木县小山市，总裁：都丸仁，www.gigaphoton.com）宣布，使用该公司“无氦化”技术的高输出ArF浸润式准分子激光器（以下称为ArF激光器）每年在全世界实现的氦气削减量已达到1万千升。
从2013年起，Gigaphoton公司按照独创的EcoPhoton™计划（注，持续实施符合客户需要的降低环境负荷的活动——绿色创新活动。到目前为止，已充分运用其拥有的丰富的实绩与经验，为客户削减了各种成本。7月，该公司发表了新的绿色创新路线图。其中，作为氦气供应难问题的解决方案，“无氦化”技术不仅应用于半导体行业，而且为整个工业界做出了巨大的贡献。
本技术通过将在ArF激光器内作为充填气体使用的氦气置换为氮气的方式，将其使用量削减了99%，这是一种世界首创的技术。另外，即使将氦气置换为氮气，也不会牺牲光学特性，可以保持与使用氦气时相同的高稳定性，这也是本技术的一大特征。大型存储器生产商也已在批量生产线的90%以上的激光器上采用了本技术，而且在采用本技术以后，生产线运转稳定，并未对曝光工序产生影响。现在，1台使用“无氦化”技术的ArF激光器的氦气削减量，虽然每年平均只有80千升左右，但是，本技术已被市场中半数以上的激光器所采用，因此，全世界的氦气削减总量已达到每年1万千升。（本公司调查）
Gigaphoton公司总裁兼首席执行官都丸仁先生表示：“氦气除用于半导体行业以外，作为核磁共振成像(MRI)等医疗领域以及磁悬浮列车等领域中无可替代的资源，其需求量非常大。另外，新兴国家对于氦气的需求也在不断增加，现在已处于供给不足的停滞状态。通过采用此‘无氦化’技术 ，可以将氦气用于更需要的领域。今后，Gigaphoton公司将立志成为可以为工业界作出上述贡献的企业，并不断向前迈进。”
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EcoPhoton™计划简介（注
EcoPhoton™计划是Gigaphoton2003年以来制定并实施的路线图，旨在提供一种环保型、符合用户需要的光刻光源。在该计划中，把激光的拥有成本（Cost of Ownership = CoO）分为3类，即：耗材所形成的成本（Cost of Consumable = CoC）、停机时间所形成的成本（Cost of Downtime=CoD）、以及环境负荷的成本（Cost of Environment = CoE），并对各类成本的主要成因进行详细分析，旨在提供运用新技术达到持续降低成本的目的。
Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年，是一家激光供应商，自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
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